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四探針電阻率測試方法
點(diǎn)擊次數(shù)：1615 更新時(shí)間：2019-02-25
四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時(shí)可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。2、測試儀結(jié)構(gòu)及工作原理測試儀主機(jī)由主機(jī)板、電源板、前面板、后背板、機(jī)箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開關(guān)及各種選擇開關(guān)均裝在前面板上（見圖2）。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險(xiǎn)管（見圖3）。機(jī)箱底座上安裝了主機(jī)板及電源板，相互間均通過接插件聯(lián)接。儀器的工作原理如圖1所示：測試儀的基本原理仍然是恒流源給探針頭（1、4探針）提供穩(wěn)定的測量電流I（由DVM1監(jiān)測），探針頭（2、3）探針測取電位差V（由DVM2測量），由下式即可計(jì)算出材料的電阻率：厚度小于4倍探針間距的樣片均可按下式計(jì)算
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